英特格ENTEGRIS过滤器，WG2F15HRR2
英特格ENTEGRIS过滤器，WG2F15HRR2
英特格ENTEGRIS过滤器，WG2F15HRR2
Wafergard
II F-1500 在线气体过滤器
为超纯气体系统提供卓越的微粒过滤，同时提供与所有类别的半导体工艺气体的出色兼容性。
PTFE 膜提供高效过滤
低压降降低了低蒸气压气体冷凝的风险
与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性
通过真空袋和双袋包装的洁净室提供卓越的开箱即用清洁度
应用
Wafergard II F-1500 在线气体过滤器应用
设施入口
隔板
设施追逐
产品规格
材料 滤芯 由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 电抛光 316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 <0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) >0.01 µm
挥发物 <10 ppb 水分@≥5% 额定流量
移除等级 ≥0.0015 微米
表面处理内部 ≤10 μin Ra
氦泄漏等级 合格的 2×10 -10 atm cc/秒
经过测试 1×10 -9 atm cc/秒
运行条件 最大入口压力 18 bar (250 psig) 在 23°C (73°F)
最大正向压差 7 bar (120 psid) 在 23°C (73°F)
最大反向压差 23°C (73°F) 时为 2.5 bar (36 psid)
最高工作温度 120°C (248°F)
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 在 1500 slpm 下去除所有颗粒（参考最渗透颗粒尺寸）
流量等级 查看性能数据
零件号
Wafergard II F-1500 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WG2F15HJJ4 1/2" 对焊管 295.0 毫米（11.60 英寸）
WG2F15HJJ6 3/4" 对焊管 295.0 毫米（11.60 英寸）
WG2F15HRR2 3/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容），外螺纹入口/出口 398.0 毫米（15.68 英寸）
WG2F15HRR3 3/8" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 225.0 毫米（8.86 英寸）
