HONEYWELL霍尼韦尔MIDAS气体探测器---远为国际
MIDAS® S1气体探测器
快速可靠的连续监测可燃及有毒气体
Midas® S1采用高度模块化设计，产品可靠，易于使用、
便于安装，是霍尼韦尔气体检测经典产品Midas®的全
新升级产品。
Midas® S1气体探测器使用可靠的传感器技术可检测超过40种以上主要的有毒、环境
和易燃气体。可探测长达30米（100英尺）的区域，同时使用独特技术调节流速，确
保气体检测无误。
标准供电电源和通信功能包括三个板载继电器、4-20mA模拟输出和Modbus TCP/IP、
TCP以太网输出，可轻松连接到控制和报警系统的端口，进而实现最佳连接及交互服务。
Midas® S1 具有灵活的功能和选项，可以开箱即用，轻松配置以满足您的需求。每个即
插即用传感器盒都经过预校准，并在您准备就绪时随时投入使用。这意味着安装和更换
传感器更为简便且准确。Midas® S1为半导体和工业/实验室应用中的气体检测带来了
新的操作体验、可靠性和易用性。
应用行业：
半导体加工
光伏
液晶显示面板
科研单位/高校
轻工业制造
航空航天
废水处理
友好界面设计
Midas®S1气体探测器配备高亮度LED和直
观 的中英文界面，可提供清晰气体读数&实
时 报警 值，优化的菜单设计使操作更加轻松
POE协议
创 新的以太网供电（PoE）协议⸺可满足所有
电源、控制和通信要求的单一以太网连接
综合安全
Midas®S1气体探测器的界面包含等级密码设
置，可保持系统的安全完整性
即插即用
提供工厂预校准传感器，开箱即插即用，快
速安装轻松替换，节省现场测试时间预防误
操作
易于安装
体积小巧&模块化设计可适用于有限拥挤的
空间以及复杂的工艺环境
可靠性
TempraSureTM温度补偿技术和Reflex® 传感
器工作状态检查以改善探测器工作安全可靠
性
兼容性
产品尺寸、供电和安装方式等和原有型号保
持一致，保留传统优势并完全兼容原有型号的
Sensors/NDIR/Pyrolyzer NP1等
美国Honeywell霍尼韦尔MIDAS气体侦测器现货,远为国际大量现货
探测器特气传感器探头，过滤器，气泵，侦测器本体，侦测器主机，热解器大量现货。
Ammonia NH3 MIDAS-E-NH3
Arsine AsH₃ MIDAS-E-ASH
Boron Trichloride BCl3 MIDAS-E-HCL
Boron Trifluoride BF3 MIDAS-E-HFX
Boron Trifluoride (Low Level) BF3 MIDAS-E-HFL
Bromine Br₂ MIDAS-E-BR2
Butane n-C₄H MIDAS-E-LEB
Carbon Dioxide CO₂ MIDAS-E-CO2
Carbon Monoxide CO MIDAS-E-COX
Carbon Monoxide (Low H2 interference) CO MIDAS-E-COH
Chlorine Cl₂ MIDAS-E-HAL
Chlorine Dioxide ClO₂ MIDAS-E-BR2
Diborane B₂H₆ MIDAS-E-B2H
Dichlorosilane H₂Cl₂Si MIDAS-E-HCL
Difluoromethane** CH₂F₂ MIDAS-E-XCF
Disilane Si₂H₆ MIDAS-E-SHX
Ethylene C₂H₄ MIDAS-E-LEL
Fluorine F₂ MIDAS-E-HAL
Germane GeH₄ MIDAS-E-ASH
Hydrogen (%LEL) H₂ MIDAS-E-LEL*
Hydrogen (ppm) H₂ MIDAS-E-H2X
Hydrogen Bromide HBr MIDAS-E-HCL
Hydrogen Chloride HCl MIDAS-E-HCL
Hydrogen Cyanide HCN MIDAS-E-HCN
Hydrogen Fluoride HF MIDAS-E-HFX
Hydrogen Fluoride (Low Level) HFL MIDAS-E-HFL
Hydrogen Sulfide H₂S MIDAS-E-H2S
Methane (%LEL) CH₄ MIDAS-E-LEL*
Methyl Fluoride** CH3F MIDAS-E-XHF
Nitric Oxide NO MIDAS-E-NOX
Nitrogen Dioxide NO₂ MIDAS-E-NO2
Nitrogen Trifluoride** NF3
MIDAS-E-HFX for 00P, XHF for NP1
Octane n-C₈H₁₈ MIDAS-E-LEO
Octofluorocyclopentene** C₅F₈ MIDAS-E-XCF
Oxygen O2 MIDAS-E-O2X
Ozone O3 MIDAS-E-O3H
Ozone (Low Level) O3 MIDAS-E-O3X
Phosphine PH3 MIDAS-E-PH3
Propane C3H₈ MIDAS-E-LEX
Propylene C3H₆ MIDAS-E-LEL
R134a C₂H₂F₄ MIDAS-E-XCF
Silane SiH₄ MIDAS-E-SHX
Silane (Low Level) SiH₄ MIDAS-E-SHL
Sulfur Dioxide SO₂ MIDAS-E-SO2
Tetra Ethyl Ortho Silicate TEOS MIDAS-E-TEO
Tungsten Hexafluoride WF₆ MIDAS-E-HFX
Tungsten Hexafluoride (Low Level) WF₆ MIDAS-E-HFL
*MIDAS-E-LEL Cartridge carries a 2-year warranty but can be calibrated up to 5 years
** Gases require Midas Pyrolyzer or NDIR
Midas detectors are not ETL approved for monitoring in or sampling from classified areas above 25% LEL
电化学传感器擅长检测多种常见有毒气体（如一氧化碳、硫化氢、氯气等）及氧气浓度，构成了工厂环境安全监测的基础。
易于操作、经济高效，能够快速、准确地探测主要有毒气体、环境气体和可燃气体。
完美契合硅片生产流程，提供预校准传感器可即插即用、更智能的侦测功能，以及更低的拥有成本，助力企业提升生产效率并降低长期运维成本。
基于成熟电化学原理，检测精度达ppm级
安装灵活、经济高效，适合大面积部署
可支持40种以上半导体常用气体类型监测
霍尼韦尔凭借多元探测技术和系统化的解决方案，为半导体制造提供全链路防护。
其高精度、长寿命、高效率的特性，结合灵活的方案部署，有效应对多种高危气体的安全挑战，为产业升级提供可靠保障。
红外光谱吸收技术利用气体对特定红外光的吸收特性，实现非接触式精确测量（如二氧化碳、碳氢化合物及特殊工艺气体），
具备优异的稳定性和抗干扰能力。
作为一个提取式气体取样系统，MIDAS气体探测器能在本地或从一个远程点提取一个样品到位于探测器机架内的传感器盒。可以提供较广范围的毒气、可燃气体和氧气传感器盒，以便实现半导体和其他生产工业中使用或产生的气体探测。MIDAS是用于墙面安装的，能够通过自身背光LCD 和LED显示气体浓度、报警、故障信息。位于显示屏下方的简便易用的4按钮键盘为设置，浏览，操作和更改探测器配置提供了便利。MIDAS标配有内置的灵活电源和通讯能力。其中包括3个插件继电器、0-22 mA 模拟输出装置、Modbus/TCP、信号和服务连接输出装置以及革新的以太网供电（PoE）协议，该协议实现了所有电源、控制和通讯要求的单一以太网连接。
霍尼韦尔气体侦测器探头,Honeywell气体探测器,MIDAS侦测器主机,MIDAS气体探测器
美国Honeywell霍尼韦尔MIDAS气体侦测器现货,
探测器特气传感器探头，过滤器，气泵，侦测器本体，侦测器主机，热解器大量现货。
MIDAS-E-NH3 MIDAS-E-SHX MIDAS-E-HAL
MIDAS-E-H2X MIDAS-E-LEL MIDAS-E-PH3
MIDAS-E-HCL MIDAS-E-ASH MIDAS-E-XHF
MIDAS-E-CO2 MIDAS-E-COX MIDAS-E-O3X
MIDAS-E-B2H MIDAS-E-HFX MIDAS-E-HFU
MIDAS-E-TEO MIDAS-E-NO2 MIDAS-E-CFX
MIDAS-E-HCN MIDAS-E-HFL MIDAS-E-HSE
MIDAS-E-H2S MIDAS-E-HSH MIDAS-E-NOX
MIDAS-E-POC MIDAS-E-SHL MIDAS-E-SO2
MIDAS-E-SF4 MIDAS-L-O2S MIDAS-I-N2O
MIDAS-X-IPA MIDAS-X-COS MIDAS-E-PHX
主机MIDAS-T-004G MIDAS-T-006G
主机内部配件MIDAS-A-007 MIDAS-A-009
过滤器780248 1830-0027 1830-0055
热解器(NF3气体)MIDAS-T-NP1
● 检测超过40种主要的有毒、环境和易燃气体，探测距离最长可达30米，检测精度高达ppm（百万分之一）级别。
● 集成TempraSure™温度补偿技术和Reflex®传感器工作状态检测功能，采用独特的流速调节技术，气体检测准确无误。Vertex™ C有毒气体检测系统
● 最多可以支持96点的气体侦测，侦测点采样流量达到2.2LPM。
● 搭载霍尼韦尔首创的Chemcassette®技术，精确度高达十亿分之一（ppb），气体泄漏响应迅速。
● 另一个型号Vertex™ VC4可连续同时侦测4个点位，满足更灵活的配置需求。
全天候监测实时监控关键区域的气体泄漏浓度。即时报警检测到泄漏或危险浓度，系统毫秒级触发声光报警并通知人员。
远程管控管理人员可在控制室或通过移动端实时掌握全厂气体安全状态。数据分析与预测系统记录历史数据，
辅助风险分析，预测维护需求，实现从被动响应到主动预防的转变。
在半导体制造中，五十多种特种气体（如氟化氢、硅烷、氨气等）被广泛使用。
这些气体对生产过程至关重要，但也极具危险性：
极高反应性，微量泄漏可能引发火灾或爆炸；
低浓度要求，泄漏会影响产品质量，甚至全线停产；
即便微量泄漏，也可能引发致命安全事故。
霍尼韦尔气体探测黑科技，
以最高可达十亿分之一（ppb）的精度，
精准锁定致命气体泄漏；
用百年安全积淀，
为万亿半导体产业
筑起“气体防火墙”，
助力生产更稳、更安全
美国Honeywell霍尼韦尔MIDAS气体侦测器现货,远为国际大量现货
探测器特气传感器探头，过滤器，气泵，侦测器本体，侦测器主机，热解器大量现货。
传感器墨盒
MIDAS-S-NH3 氨 (NH3)
MIDAS-S-ASH 砷化氢 (AsH3)、锗烷 (GeH4)
MIDAS-S-HCL 三氯化硼 (BCl3)、二氯硅烷 (H2Cl2Si)、溴化氢 (HBr) 氯化氢 (HCl)
MIDAS-S-HFL 三氟化硼 (BF3)、氟化氢 HF（低浓度）、六氟化钨 (WF6)（低浓度）
MIDAS-S-HFX 三氟化硼 (BF3)、氟化氢 (HF)、三氟化氮 (NF3)* 六氟化钨 (WF6)
MIDAS-S-BR2 溴 (Br2)、二氧化氯 (ClO2)
MIDAS-S-COX 一氧化碳 (CO)
MIDAS-S-HAL 氯 (Cl2)、氟 (F2)
MIDAS-S-B2H 乙硼烷 (B2H6)
MIDAS-S-H2X 氢气 (H2)
MIDAS-S-HCN 氰化氢 (HCN)
MIDAS-S-H2S 硫化氢 (H2S)
MIDAS-S-LEL 氢气 (H2)、甲烷 (CH4)
MIDAS-S-NOX 一氧化氮 (NO)
MIDAS-S-NO2 二氧化氮 (NO2)
MIDAS-S-O2X 氧气 (O2)
MIDAS-S-O3X 臭氧 (O3)
MIDAS-S-O3H 臭氧 (O3)（高水平）
MIDAS-S-PH3 磷化氢 (PH3)
MIDAS-S-SHL 硅烷 (SiH4)（低含量）
MIDAS-S-SHX 硅烷 (SiH4)、乙硅烷 (Si2H6)
MIDAS-S-SO2 二氧化硫 (SO2)
MIDAS-S-TEO TEOS
MIDAS-S-XCF 二氟甲烷 (CH2F2)、六氟丁二烯 (C4F6)**、八氟环戊烯 (C5F8)**、0-40 ppm、0-240 ppm、0-40 ppm
MIDAS-S-XHF 三氟化氮 (NF3)*、甲基氟 (CH3F)**, 0-40ppm, 0-120ppm
远为国际常备MIDAS探头主机现货：
MIDAS-E-NH3，MIDAS-E-HCL，MIDAS-E-H2X，MIDAS-E-SHX，MIDAS-L-O2S，MIDAS-T-004G、MIDAS-T-006G，MIDAS S1-T-006。
货物自主报关进口，随货提供货物批次报关单凭证，跟国外霍尼韦尔工厂多年的合作，让我们可以拿到货物原产地折扣价，多种询价渠道、多年的贸易经验以及与众多品牌电子元件供应商的良好合作关系，保障了我们在产品价格和货期上的巨大优势---远为国际贸易(无锡)有限公司
正规公司销售，货物全新原装进口供应，渠道正规，随货提供货物批次报关单，产品质量从源头开始保证，专业霍尼韦尔技术工程师保驾护航，提供售后技术支持。
MIDAS-E-NH3 氨 (NH3) 9-100 ppm
MIDAS-E-ASH 砷化氢 (AsH3)、锗烷 (GeH4) 18-200 ppb 70-800 ppb
MIDAS-E-HCL 三氯化硼 (BCl3)、二氯硅烷 (H2Cl2Si)、溴化氢 (HBr)、氯化氢 (HCl) 0.72-8 ppm
MIDAS-E-HFU 氟化氢 (HF)、六氟化钨 (WF6) 0.42-2 ppm 0.22-2 ppm
MIDAS-E-HFL 三氟化硼 (BF3)、氟化氢 HF（低浓度）、六氟化钨 (WF6)（低浓度）*** 0.18-2 ppm
MIDAS-E-HFX 三氟化硼 (BF3)、氟化氢 (HF)、三氟化氮 (NF3) 六氟化钨 (WF6) 0.72-8 ppm 1.05-12 ppm 3.6-40 ppm 1.05-12 ppm
MIDAS-E-BR2 溴 (Br2)、二氧化氯 (ClO2) 0.036-0.4 ppm
MIDAS-E-CFX 二氟甲烷 (CH2F2)、六氟丁二烯 (C4F6)、甲基氟 (CH3F)、八氟环戊烯 (C5F8), 16-240 ppm 3-40 ppm 8-120 ppm 3-40 ppm
MIDAS-E-CFH 六氟丁二烯 (C4F6)** 7.2-80 ppm
MIDAS-E-COX 一氧化碳 (CO) 9-100 ppm
MIDAS-E-HAL 氯 (Cl2) 氟 (F2)" 0.18-2 ppm 0.36-4 ppm
MIDAS-E-B2H 乙硼烷 (B2H6) 0.036-0.4 ppm
MIDAS-E-H2X 氢气 (H2) 90-1000 ppm
MIDAS-E-HCN 氰化氢 (HCN) 1.8-20 ppm
MIDAS-E-H2S 硫化氢 (H2S) 3.6-40 ppm
MIDAS-E-LEL 氢气 (H2)、甲烷 (CH4) 6.5-100% LEL
MIDAS-E-NOX 一氧化氮 (NO) 9-100 ppm
MIDAS-E-NO2 二氧化氮 (NO2) 1.05-12 ppm
MIDAS-E-O2X 氧气 (O2) 0.2-25% v/v
MIDAS-E-O3X 臭氧 (O3) 0.036-0.4 ppm
MIDAS-E-O3H 臭氧 (O3) 高浓度) 0.036-0.7 ppm
MIDAS-E-PH3 磷化氢 (PH3) 110-1200 ppb
MIDAS-E-SHL 硅烷 (SiH4)（低浓度）0.18-2 ppm
MIDAS-E-SHX 硅烷 (SiH4)、乙硅烷 (Si2H6) 1.8-20 ppm
MIDAS-E-SO2 二氧化硫 (SO2) 0.7-8 ppm
MIDAS-E-TEO TEOS 3.6-40 ppm
MIDAS-E-XCF 二氟甲烷 (CH2F2)、六氟丁二烯 (C4F6)**、八氟环戊烯 (C5F8)** 0-40 ppm 0-240 ppm 0-40 ppm
MIDAS-I-CO2 二氧化碳红外盒 0.15-5.0%, 0.15%-0,2% v/v
MIDAS-I-N2O 一氧化二氮红外盒 100-1000 ppm
MIDAS-E-XHF 三氟化氮 (NF3)*、甲基氟 (CH3F)** 0-40ppm 0-120ppm
美国Honeywell霍尼韦尔MIDAS气体侦测器现货,远为国际大量现货
探测器特气传感器探头，过滤器，气泵，侦测器本体，侦测器主机，热解器大量现货。
MIDAS S1-T-006
MIDAS S1-K-NH3
MIDAS S1-K-SHX
MIDAS S1-K-HAL
MIDAS S1-K-H2X
MIDAS S1-K-LEL
MIDAS-S1-K-PH3
MIDAS S1-K-PHX
MIDAS S1-K-ASH
MIDAS S1-K-HFX
MIDAS S1-K-XHF
MIDAS S1-K-COX
MIDAS S1-K-CO2
MIDAS S1-K-O2S
MIDAS S1-K-O2X
MIDAS S1-K-O3X
MIDAS S1-K-O3H
MIDAS S1-K-B2H
MIDAS S1-K-HFU
MIDAS S1-K-TEO
MIDAS S1-K-NO2
MIDAS S1-K-NOX
MIDAS S1-K-HCN
MIDAS S1-K-HFL
MIDAS S1-K-LEX
MIDAS S1-K-SHL
MIDAS S1-K-SO2
MIDAS S1-K-H2S
MIDAS S1-K-SF4
MIDAS S1-K-SF6
MIDAS S1-K-N2O
MIDAS S1-K-COS
MIDAS S1-K-BR2
MIDAS S1-K-IPA
MIDAS S1-K-HSE
MIDAS S1-K-POC
MIDAS S1-K-XCF
MIDAS S1-K-COH
MIDAS S1-K-LEB
HONEYWELL MIDAS® S1
产品参数
主机尺寸
尺寸（带传感器的单元） 150（高）x 65（宽）x 153（ 深 ）毫 米（ 5.91 x 2.56 x 6.02英寸）
重量 – 主机
电源要求
工作电压
功耗
主机单元
主机+热裂解
输出
视觉
继电器
模拟
数字通讯
显示&操作
尺寸/操作键
认证&规格
电磁兼容
环境
气体传输系统
流量
取样管路
采样管长度
排气管路
排气长度
环境
0.8 千 克（ 1.76 磅）
标准24 VDC，-15 至 +10%（20.4 至 26.4 VDC）
Typ. LEL <6W
Typ. <12.95W
电源、警报1,2、故障 LED 和彩色 TFT LCD
分别用于警报1、警报2和故障的3个继电器，额定值: 1.0A@ 30VDC or
0.5A @125VAC；可配置的NO（常开）或 NC（常闭），可设置锁存或非锁存
3线，4线，源电流或漏电流输出，隔离或非隔离输出, 0-21mA
Modbus / TCP以太网／以太网供电 (PoE)
2英寸LCD / 4键界面键盘
CE，符合EN 50270:2015 (type 2)
FCC, 符合47 CFR Part 15 B (Class A)
符合IEC61010-1: 2016, EN61010-1: 2019,UL 61010-1 Ed.3 &
CSA C22.2 No.61010-1 Ed.3
500 毫升/分钟
内径3.18毫米x外径6.35毫 米（ 0.125 x 0.25 英寸）
长达 30 米（ 100 英 尺 ），FEP管（具体取决于气体类型）
内径 4.76 毫米X 外径 6.35 毫 米（ 0.188 X 0.25 英寸）
最长 30 米（ 100 英尺）
工作温度（with sensor） 0°C 至 40°C (32° to 104°F )
使用环境
电压
污染程度
仅限室内
类别 1 2
*Pyrolyzer&NDIR参数不包含，气体传感器参数请见具体sensor datasheet
电子半导体工厂特气和特气供应系统SGS技术解析
1特种气体系统(Special Gas System, SGS)是半导体制造工厂的核心基础设施之一，负责为生产工艺提供高纯度、高稳定性的特种气体供应。半导体制造过程中使用的特种气体种类繁多，主要包括硅烷(SiH4)、磷烷(PH3)、砷烷(AsH3)、三氟化氮(NF3)、六氟化钨(WF6)等，这些气体在沉积、刻蚀、掺杂、清洗等关键工艺环节中发挥重要作用。特种气体系统的主要技术参数包括：纯度要求：主流工艺要求气体纯度≥99.999%(5N)，特种工艺要求≥99.9999%(6N)。杂质(如水分、氧气、颗粒物)会导致薄膜缺陷、反应异常和器件性能退化。泄漏率标准：根据GB 50646-2020要求，高纯气体系统泄漏率需≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s。颗粒物控制：管道内颗粒物需≤0.1μm，管道内壁粗糙度≤0.4μm(EP级抛光)。压力控制：反应腔压力需稳定在±0.1 Torr，应对不同前驱体气体粘性差异。温度控制：特殊气体如钴前驱体需-40℃冷冻储存，输送系统需配备低温MFC(-20℃工作)。特种气体按性质可分为以下几类：自燃性气体：如硅烷(SiH4)、磷烷(PH3)，与空气接触即会燃烧。易燃性气体：如砷烷(AsH3)、乙硼烷(B2H6)、氨气(NH3)。毒性气体：如砷烷(AsH3)、磷烷(PH3)，阈限值(TLV)极低(如B2H6仅为100ppb)。腐蚀性气体：如氯化氢(HCl)、氟化氢(HF)、三氯化硼(BCl3)，遇水后腐蚀性显著增强。惰性气体：如四氟化碳(CF4)、八氟环丁烷(C4F8)、六氟化硫(SF6)。氧化性气体：如氯气(Cl2)、三氟化氯(ClF3)、氧气(O2)。
2. 特气供应系统组成与架构特种气体供应系统由四个主要部分组成，构成完整的气体输送与控制网络：2.1 气源部分(特气柜GC)气源部分是系统的起点，负责气体的安全储存和初级处理。主要设备包括：气瓶柜(GC)：采用316L不锈钢材质，钢板厚度≥2.5mm，配备防爆玻璃观察窗和自动关闭功能。柜内保持不低于100Pa负压，排风换气次数≥300次/h(硅烷气瓶使用直径0.25mm限流孔时≥1200次/h)。气瓶架：可采用单工艺气瓶外置吹扫气源、双工艺气瓶外置吹扫气源、双工艺气瓶内置吹扫气源等多种结构配置。辅助设备：包括pigtail box(气瓶连接装置)、地磅(用于液化气重量监控)、JVB(阀门箱)、scrubber(洗涤塔)、N2 Purge Rack(氮气吹扫架)等。2.2 输送部分(配管系统)输送部分负责将气体从气源安全输送至使用区域，关键技术要求包括：管道材质：采用316L不锈钢EP级电解抛光管，禁止使用普通304不锈钢管道(易导致腐蚀泄漏)。连接方式：采用VCR金属密封接头或焊接连接，禁止使用橡胶垫片(易老化泄漏)。阀门类型：选用隔膜阀(零死体积)或波纹管阀(防渗透)，自燃性/易燃性/毒性/腐蚀性气体面板应设紧急关断阀门(常闭气动型)。布局原则：氧化性气体(O₂)与还原性气体(H₂)管道间距≥1m，不相容气体禁止共用管道。2.3 分配部分(二次配系统)分配部分将气体精确分配至各工艺设备，主要组件包括：阀门分配箱(VMB)：实现多路气体分配，具备流量控制和切换功能。阀门分配盘(VMP)：用于局部区域的气体分配。吹扫系统：采用独立氮气源吹扫，吹扫流量≥20L/min，吹扫3次以置换残留气体。2.4 控制部分(监控系统)控制部分是系统的大脑，确保安全运行，包含两大核心子系统：气体管理系统(GMS)：负责特气从供应源头到使用终端的全方位管理，包括：供应监控：钢瓶压力、温度、液位等参数实时监测分配控制：精确调节阀门开度与气体流量质量监测：实时检测气体纯度及杂质含量数据记录：记录系统运行参数与事件信息气体检测系统(GDS)：专注于特气泄漏检测与安全报警，主要功能包括：泄漏检测：采用红外光谱仪等设备，检测精度达ppm级环境监测：危险区域气体浓度实时监控联动控制：泄漏时自动触发氮气吹扫+废气中和报警功能：声光报警+紧急切断(0.5秒内切断气源)
3. SGS系统关键技术要求3.1 安全设计规范特种气体系统设计必须符合以下安全规范：防火间距：气瓶间与实验区防火间距≥8m(GB 50177)，特种气体站与主厂房间距符合GB 55037-2022要求。防泄漏系统：双阀联锁设计(手动阀+电磁阀)，配备激光气体传感器(H₂检测精度1ppm)和压力传感器。防混气设计：独立气路分区，不相容气体系统吹扫氮气不得共用同一氮气源。防静电措施：所有管道和设备接地电阻≤4Ω，法兰间设跨接线。应急系统：自燃性/易燃性气瓶柜设水喷淋系统(ClF3除外)，毒性/腐蚀性气体间设紧急洗眼器。3.2 材料与施工标准管道材料：316L不锈钢EP级电解抛光管，内壁粗糙度≤0.4μm。焊接要求：采用自动轨道氩弧焊，高纯氩气保护，焊接样品需通过鉴定。测试验收：压力试验：采用高纯氮气或氩气，禁止使用水压试验和检漏液。氦检漏：检测灵敏度≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s。洁净度测试：颗粒物≤0.1μm，水分≤10ppb，氧分≤10ppb。3.3 电气与控制系统电源要求：特气系统需独立电源回路，配备UPS不间断电源。信号接口：采用MODBUS RTU等标准协议，与工厂DCS/SCADA系统集成。联动控制：与消防、排风、工艺设备等系统联动，泄漏时自动启动应急预案。3.4 尾气处理系统中和塔：处理酸性/碱性废气，去除效率≥99%。焚烧炉：处理可燃性废气，温度≥1000℃。洗涤塔：处理毒性/腐蚀性废气，配备pH自动调节。监测要求：排放口设在线监测，数据联网上传环保部门。
4. SGS系统接口标准4.1 机械接口气瓶连接：采用CGA、DISS等标准接口，配套pigtail过渡。管道连接：主管道采用VCR或焊接，支管采用VCR或卡套连接。设备接口：压力变送器、流量计等采用1/4"或1/2"VCR接口。4.2 电气接口信号类型：4-20mA模拟量、RS485数字信号、干接点报警信号。通信协议：MODBUS RTU/TCP、PROFIBUS、Ethernet/IP等。安全联锁：硬线连接紧急切断信号，响应时间≤100ms。4.3 软件接口数据格式：OPC UA、SQL数据库接口。报警管理：分级报警(预警、报警、紧急)，与工厂MES系统集成。用户界面：WEB或客户端，支持多级权限管理。
5. 验收与测试规范5.1 设备验收外观检查：对照流程图检查管道横平竖直、阀门流向、标签完整。文件检查：产品合格证、质量保证书、性能测试报告齐全。功能测试：压力传感器、电子秤、过流开关等部件功能正常。5.2 管路系统验收压力测试：1.5倍设计压力，保压24小时压降≤1%。氦检漏：检测灵敏度≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s。洁净度测试：颗粒物：≤0.1μm，5个/立方英尺水分：≤10ppb氧分：≤10ppb5.3 系统联调联动测试：模拟泄漏验证报警、切断、排风联动功能。性能测试：验证流量、压力控制精度满足工艺要求。可靠性测试：连续运行72小时无故障。
6. 运行与维护规范6.1 日常操作气瓶更换：执行吹扫-保压测试-切换流程，记录钢瓶信息。参数监控：实时监测压力、流量、纯度等参数，设置合理报警限。数据记录：保存至少1年运行数据，支持趋势分析和故障追溯。6.2 预防性维护定期检查：每月检查管道支架、阀门密封、传感器精度。过滤器更换：根据压差或时间间隔(通常6个月)更换终端过滤器。校准计划：压力表、流量计等每年校准1次，气体分析仪每半年校准1次。6.3 应急处理泄漏处置：启动紧急切断，人员撤离，专业人员处理。火灾处置：切断气源，使用干粉灭火器，禁止用水扑救金属火灾。人员急救：接触毒性气体立即移至新鲜空气处，就医时提供MSDS。
7. 最新技术发展趋势7.1 智能化气体管理AI预测：基于历史数据预测气体用量，优化更换周期。数字孪生：建立虚拟系统模拟运行状态，提前发现潜在问题。远程监控：通过IoT技术实现云端监测和专家诊断。7.2 绿色气体技术低碳工艺：开发低GWP(全球变暖潜值)替代气体。尾气回收：回收利用NF3、SF6等气体，降低排放。能源优化：采用高效压缩机、变频控制降低能耗。7.3 高纯技术突破原位纯化：设备内部集成微型纯化模块，减少输送污染。分析技术：激光光谱、质谱在线监测ppt级杂质。材料创新：新型涂层技术进一步降低颗粒物析出。
8. 行业标准与规范特种气体系统设计、施工、验收需符合以下主要标准：国家标准：GB 50646-2020《特种气体系统工程技术标准》GB 50177《氢气站设计规范》GB 55037-2022《建筑防火通用规范》国际标准：SEMI F1：高纯度气体系统标准NFPA 55/69：可燃气体存储与使用规范ISO 8573-1：压缩空气质量标准行业规范：AEC-Q100：车规电子元件可靠性测试标准SEMI S2：半导体设备安全指南IPC J-STD-001：电子装配焊接