英特格公司Entegris, Inc.(NASDAQ:ENTG)创立于1966年,总部位于美国马萨诸塞州Billerica,全职雇员3,419人,是一家半导体设备及材料公司,生产和销售一系列产品和服务,用于净化,保护和运输在微电子和其他高科技行业的加工和制造中使用的关键材料。Entegris是净化,保护和运输半导体器件制造过程中使用的关键材料的产品和系统提供商。Entegris总部在马萨诸塞州,另外,在美国,马来西亚,新加坡,中国台湾,中国,韩国,日本,以色列,爱尔兰,德国和法国拥有制造、服务中心和研究设施。
英特格公司致力于通过改进几个关键工艺(包括光刻,湿法蚀刻和清洁,化学机械平面化,薄膜沉积,批量化学处理,晶圆和掩模版处理和运输以及测试)中的污染控制来帮助制造商提高产量, 装配和包装,公司约80%的产品用于半导体行业。
英特格公司分为2个部门来运作:关键材料处理(Critical Materials Handling)和电子材料(Electronic Materials)。
Critical Materials Handling——提供一系列用于过滤,处理,分配和保护在半导体制造工艺和其他高技术制造中使用的关键材料产品。该部门的产品和子系统包括高纯度材料包装,流体处理和分配系统以及液体过滤器,以及保护关键衬底(如运输和制造操作中的晶片)的微环境产品。它还提供用于高温应用的石墨组分和特种涂料
Electronic Materials——提供能够实现半导体制造的性能材料,材料封装和材料输送系统。其产品包括专业化学品和性能材料,气体微粒控制系统和组件,以及亚大气压力气体输送系统,用于处理半导体工艺设备的有害气体。
Entegris公司服务于半导体器件制造商、原始设备制造商(OEM)、气体和化学制造公司和高精度电子制造商服务;太阳能和生命科学行业的制造商和供应商;和放电加工(electrical discharge machining)客户、玻璃容器制造商、航空航天制造商和生物医学植入设备制造商、以及平板显示器OEM和材料供应商。
GateKeeper GPU 系列净化器旨在提高工艺气体的一致性、使用寿命和出口纯度。
纯度达到ppt级
广泛的气体兼容性,包括腐蚀性气体,如 Cl2、HBr、HCl、CF4所以2, SF6
净化器压降低
通过压力设备指令 PED 的 CE 认证,并在 ISO 9001-2000 工厂生产
可再生 – 消除处置问题和成本
使用寿命长 – 降低拥有成本
使用环境温度净化
气体净化器
有多种材料可用于将气体净化至万亿分之一 (ppt) 水平。
我们的创新气体微污染控制产品采用先进技术制造,以高可靠性、低成本和高性能有效去除气体污染物。独立的气体净化系统提供具有先进控制的原位再生,以满足您的要求。我们广泛的气体净化器和环保系统产品组合旨在提高气体浓度、使用寿命和出口纯度。
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GateKeeper GPU 气体净化器
我们的 GPU 气体净化器以各种流速有效去除卤化气体、氢化物、活性氧化物、饱和和不饱和碳氢化合物、碳氟化合物和氯烃。
气体净化
其他气体
氙气(Xe)
氦 (He)
氩气 (AR)
Aeronex Z2 系列气体净化系统
Aeronex 气体净化系统 (AGPS) Z2 系列是 Entegris 最新的连续服务散装气体净化系统。
气体净化
极度清洁干燥空气 (XCDA )
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GateKeeper Z3 系列气体净化系统
GateKeeper 气体净化系统 (GPS) Z3 系列用于持续高流量、使用点净化的 XCDA(极清洁干燥空气)净化气体,拥有成本低
气体净化
极度清洁干燥空气 (XCDA )
GateKeeper EX 系列气体净化系统
GateKeeper 气体净化系统 (GPS) EX 系列用于持续高流量、使用点纯化的 H 2(氢气)吹扫气体,拥有成本低
气体净化
氢 (H 2 )
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GateKeeper HX 系列气体净化系统
GateKeeper HX 系列 - 净化气体:氢气 (H2)、氮气 (N2) 或氩气 (Ar)。持续流动、使用点纯化氢气、氮气或氩气,拥有成本低。
气体净化
氩气 (Ar)
氢 (H 2 )
氧气 (O 2 )
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GateKeeper DX 系列气体净化系统
GateKeeper 气体净化系统 (GPS) DX 系列是 Entegris 最先进的连续服务气体净化系统,为气体净化带来先进技术。它为半导体制造商提供了一种创新的解决方案,可实现更高的晶圆产量和更低的拥有成本。
气体净化
二氧化碳 (CO 2 )
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GateKeeper DZ 系列气体净化系统
以较低的拥有成本持续提供高流量、使用点的纯化 CO2 气体
气体净化
二氧化碳 (CO 2 )
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GateKeeper SX 系列气体净化系统
GateKeeper 气体净化系统 (GPS) SX 系列以较低的拥有成本提供连续流动的使用点净化 NH3 气体
气体净化
氨(NH 3)
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GateKeeper Z2 系列气体净化系统
GateKeeper Z2 系列气体净化系统 (GPS) 用于持续高流量、使用点净化的 XCDA(极清洁干燥空气)净化气体,拥有成本低
气体净化
极度清洁干燥空气 (XCDA )
在线 PTFE 气体过滤器
我们的气体过滤器提供卓越的微粒过滤,以最大限度地减少压降并最大限度地延长过滤器的使用寿命。从 Wafergard、Linegard、Unigard 和 Gasketgard 在线气体过滤器中进行选择。
在线镍气过滤器
Entegris 的超纯镍过滤器是用于高压、高温应用的最清洁、最高效的气体过滤产品。
在线不锈钢气体过滤器
Entegris 提供多种过滤器,带有不锈钢膜和不锈钢外壳,专为高压和高温应用而设计。
优质石墨组件
我们的石墨经过严格控制,可生产出具有均匀微观结构和强度、晶粒尺寸和硬度平衡的材料,从而为您的预期应用提供最佳性能。
石墨等级
我们提供范围广泛的石墨材料以及后处理和加工能力,以满足数据存储应用的苛刻要求。您可以根据晶粒尺寸(1、5 和 10 微米)为您的应用选择合适的石墨,所有等级都以散装形式出售或作为特定应用的定制加工组件出售。
气体净化解决方案
GateKeeper® GPU HX 介质气体净化器
GateKeeper® GPU IX 介质气体净化器
GateKeeper® GPU LG 媒体气体净化器
GateKeeper® GPU NX 介质气体净化器
GateKeeper® GPU OP 介质气体净化器
GateKeeper® GPU TX 介质气体净化器
GateKeeper® GPU WX 介质气体净化器
GateKeeper® GPU WY 介质气体净化器
GateKeeper® GPU YX 介质气体净化器
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散装气体输送
光刻
取向附生
干蚀
晶圆生长
Entegris的GateKeeper GPU气体净化器旨在提高微电子应用中的纯度一致性、使用寿命以及最终纯度。
在这些应用中,高纯度气体至关重要。凭借我们在材料科学领域的专业知识,
我们开发出了一代新的AP气体净化产品,这些产品提供了无可比拟的价值和性能。
作为一家与领先制造商合作以实现技术持续进步的全球性公司,我们拥有全球基础设施,包括战略性布局的制造基地、研发设施和客户支持中心。我们进行基础设施投资,使我们更接近全球所有地区的客户。我们技术精湛的团队成员、设施和资源就在您需要的地方,以帮助您解决最先进的技术挑战。
产品和解决方案包括:
净化气体、流体和晶圆厂周围环境的过滤产品
分配、控制、分析或运输工艺流体的液体系统和组件
安全储存和输送有毒气体的气体输送系统
用于高级节点沉积和清洁的特种化学品
保护半导体晶圆免受污染和破损的晶圆载体和运输商
提供高纯度表面的特种涂料,具有耐磨性、防腐蚀性和光滑度
用于高性能应用的优质石墨和碳化硅
用于保护和运输磁盘驱动器组件的托运人和托盘
第四次工业革命已经到来。人工智能、增强现实、物联网——这些不仅仅是趋势,而且是改变全球人们生活方式的驱动力。随着这些新驱动因素和创新速度的不断加快,人们对以更快的速度推出更高质量、更高性能的技术产生了期望。 通过我们屡获殊荣的解决方案和技术专长的力量,我们为客户提供创新的、基于科学的解决方案,以应对他们最棘手的技术挑战。 在 Entegris,我们是创新的科学。
材料科学与分析
分离科学
膜科学与工程
聚合物表征和开发
界面科学
污染源分析
先进材料
材料合成和定制配方
精密气体混合物
特种涂料
石墨、SiC 和工程碳
表面处理和清洁
液体和气体储存和运输
微污染控制
领先的液体过滤和净化
万亿分之一 (ppt) 水平的气体净化
面向先进晶圆厂的空气传播分子污染 (AMC) 解决方案
晶圆和光罩处理
流体管理、传感和控制
卓越制造
超洁净组件和材料制造
快速原型制作和定制
通过集成 SPC 实现领先的质量控制
广泛的全球制造足迹