公司概况
Entegris是一家为半导体和其他高科技行业提供先进材料和工艺解决方案的领先供应商。
我们的使命是通过提供增强材料和工艺解决方案，帮助客户在最先进的制造环境中提高生产力、性能和技术。
Entegris在全球拥有约8,000名员工。Entegris总部位于马萨诸塞州，
并在美国、加拿大、中国、法国、德国、以色列、日本、马来西亚、新加坡、韩国和台湾拥有制造、客户服务和/或研究设施。
Entegris是一个价值复合器：有吸引力的有机销售增长，导致显著的EBITDA和EPS扩展。
随着我们的客户追求更复杂的设备架构和进一步的小型化，技术路线图继续为Entegris带来丰富的机会。
由此产生的工艺复杂性使我们在材料科学和材料纯度方面的专业知识变得越来越有价值，这有望在未来几年推动我们超越市场表现并增加每个晶圆的增量内容机会。
我们的目的启用改变世界的技术
作为一个与领先制造商合作推动技术持续进步的全球性公司，我们拥有全球基础设施，包括战略性分布的制造工厂、研发设施和客户支持中心。
我们在所有全球地区都进行基础设施投资，以便更接近我们的客户。我们高技能的团队成员、设施和资源就在您需要的地方，帮助您解决最先进的技术问题。
产品和解决方案包括：
净化气体、流体和环境的过滤产品
液体系统和组件，用于分配、控制、分析或传输工艺流体
安全储存和输送有毒气体的气体输送系统
用于先进节点沉积和清洁的特殊化学品
晶圆运输和包装盒，保护半导体晶圆免受污染和破损
提供高纯度表面以增强耐磨性、耐腐蚀性和光滑度的特殊涂层
高性能应用的优质石墨和碳化硅
用于保护和运输硬盘驱动器组件的包装盒和托盘
精选信息
公司情况说明书致力于通过广泛的解决方案组合、协作和创新的产品开发，以及对科学和应用知识的关注，解决客户的最苛刻的工艺挑战。
我们的核心竞争力创新科学
第四次工业革命已经到来。人工智能、增强现实、物联网——这些不仅仅是趋势，它们正在改变全球人们的生活方式。
随着这些新的驱动力和创新速度的加快，人们期望获得更高质量、更高性能的技术，并且速度更快。
通过屡获殊荣的解决方案和我们的技术专业知识，我们为客户提供创新的、基于科学的解决方案来应对他们最棘手的技术挑战。 在Entegris，我们是创新之科学。
材料科学与分析分离科学膜科学与工程聚合物表征与开发界面科学污染源分析
先进材料材料合成与定制配方精密气体混合物特种涂料石墨、碳化硅和工程碳表面处理和清洁液态和气态储存与运输
微污染控制前沿液体过滤和净化气体净化到十万亿分之一 (ppt) 水平先进的晶圆厂空气分子污染（AMC）解决方案晶圆和掩膜片处理流体管理、感知和控制
制造卓越超净元件和材料制造快速原型和定制先进的质量控制与集成统计过程控制广泛的全球制造足迹。Entegris 概览
通过我们屡获殊荣的解决方案、强大的员工文化和技术专长，我们为客户提供创新的、基于科学的解决方案，以应对他们最棘手的技术挑战。
收购品牌
在过去的50多年里，我们的追求是提供解决方案，帮助客户解决其先进制造过程中遇到的关键挑战，同时提高性能和良率。
除了我们强大的新产品开发 pipeline，我们尊重在我们行业中具有相同理念的组织的创新和专业知识。并且我们相信收购强大的和创新的品牌，以确保我们继续为客户提供价值。
关于英特格里斯
提供创新的科学解决方案
了解更多
CMC 材料 | 2022年7月
向半导体制造商提供先进材料的领先供应商。
精密微化学 | 2021年11月
高纯度材料，包括用于电子材料加工和表面处理的清洗化学品和化学机械抛光浆料。
等科学
IsoSciences，Entegris公司旗下的一家公司，是用于内部标准、研发、制药等领域的稳定同位素标记化合物的领先制造商和供应商。
GMTI | 2020年7月
精准浓度监测以确保在化学机械抛光和配方清洁过程中实现高产量。
Sinmat | 2020年1月
通过将Sinmat的浆料技术与Entegris广泛的化学机械抛光（CMP）能力相结合，为客户提供新的解决方案。
Anow | 2019年9月
Anow是一家为制药、医疗和其他行业提供过滤解决方案的公司，现在已成为Entegris的一部分。
MPD 化学品
扩展Entegris在开发和生产新型有机硅和有机金属材料方面的能力。
数字特种化学品 | 2019年3月
收购DSC扩展并深化了Entegris在新型先进材料方面的能力。
SAES纯气体 | 2018年6月
完成了Entegris的气体净化解决方案的端到端产品组合，从批量到使用点。
弹性概念 | 2018年6月
一次性袋子和流体传输解决方案将扩展我们帮助解决客户最复杂生物制造挑战的能力。
粒度分析系统 (PSS) | 2018年1月
通过粒度分析提高微电子、生命科学和化学工业的产量。
产品目录
提高您的工艺，提升纯度、安全性和性能
作为提供先进材料、污染控制和材料处理解决方案的全球领先企业，我们拥有您实现制造过程目标所需的产品、技术和专业知识的广泛性。
精选视频
综合计量方法的全面过滤解决方案：过氧化氢与PTFE膜
立即查看
化学
作为一个提供先进特种材料和递送系统的供应商，我们拥有制定和递送您所需化学物质的专业知识，以实现您的工艺并达到您的性能目标。
设备托盘
全面的集成电路封装配送系统，用于保护和运输裸片、CSP、光电元件和其他微电子设备。
流体管理系统
我们提供完整的系统解决方案，从散装化学品配送到使用点，构建一个完整、无泄漏、可靠的流体处理网络。
气体过滤与净化
从空气或工艺气体流中去除不需要的气体分子对于减少工艺污染至关重要。我们的过滤器和扩散器套件旨在保护房间和工艺免受污染物的侵害。
硬盘组件处理
可靠的硬盘组件处理解决方案，能够安全高效地运输关键材料。
液体过滤与净化
我们能力的核心是先进的科学知识和精湛的制造技术，能够提供当今市场上最好的液体过滤和净化解决方案。
掩膜和光罩处理
正确处理重要的工艺技术对工艺性能至关重要。我们的pod、包装和系统提供顶级的保护，防止损坏和污染。
其他基片处理
我们的晶圆保护罩和盒旨在为您的珍贵基片提供终极保护，在日常运输活动中保持其不受损坏和污染。
特种气体
我们是为各种制造过程提供安全储存和输送高毒性气体的领导者。
特殊材料
优质石墨、碳化硅和用于当今高要求高科技应用的涂层解决方案。
晶圆处理
创新的晶圆运输和处理解决方案，为宝贵的晶圆提供卓越的保护。
Entegris, Inc. (NASDAQ 代号：ENTG) 是一家世界级的供应商，专门为半导体、生命科学与其他高科技产业提供所需的先进材料与制程解决方案。
我们提供下列解决方案：
• 用于纯化制程气体、流体与晶圆厂周围环境的过滤器
• 用于供应、控制、分析或是运输制程流体的液体系统
• 可安全储存及输送有毒气体的气体输送系统
• 用于化学气相沉积 (CVD) 及原子层沉积 (ALD) 制程的先进液体气体与固体先导物质
• 用于晶圆表面处理暨整合 (SPI)
以及其他需要高纯度化学品之制程的先进材料
• 特殊化学品包括用于半导体元件制造的有机金属及有机硅烷材料、用于医疗器材制造的单体与聚合物，以及用于临床诊断的同位素标记材料
• 应用于化学机械研磨(CMP)之研磨垫
• 用于CMP应用以及抛光碳化硅(SiC) 及氮化镓 (GaN) 等超硬表面的研磨液
• 一次性使用的纯度与可靠度组件，可用于储存、冷冻与运送生技制药产品
• 用以提供高纯度表面，以发挥耐磨损、抗腐蚀及表面平滑化效果的特殊涂层
• 用于高效能应用的顶级石墨与碳化硅
• 用于保护及运输医疗器材及磁碟机元件的运输盒与承载盘
• 用于保护半导体晶圆，使其免于遭受污染与碎裂的晶圆载具及运输盒的微污染控制
• 应用于静电吸盘(e-chucks)以及探针卡(probe cards)的清洁方案
创新是我们领先同业的秘诀
—
过去 50 多年来，我们致力于透过一系列功能齐全的产品组合、协同合作及创新的产品开发来解决客户最棘手的制程挑战，并且专注于拓展科学与应用专业知识。
我们的核心竞争力包括：
• 材料科学与分析技术
• 微污染控制
• 先进材料
• 卓越的制造能力
这些核心竞争能力的背后，有我们遍及全球的制造与技术研发中心网路，因此我们能够透过协作方式提供客户最高等级的材料与制程纯度，进而协助他们提升制程效能与良率。
远为国际优势供应销售Entegris产品，气体和液体过滤器为优势产品，正品原装现货供应，具体型号具体咨询，Entegris产品均有出售，部分有现货由于种类繁多未全部展示，欢迎前来咨询。
WTA12-16PFN-3 WTA16-16PFN-3 WTA16-16TFN-1 WTA16-16TFN-3 WTA20-16PFN-3S WTA4-12PFN-1 WTA4-8PFN-1 WTA4-8PFN-3 WTA6-8PFN-1 WTA6-8PFN-3 WTA8-12PFN-1 WTA8-12PGN-1HX WTA8-16PFN-3 WTA8-8PFN-1 WTA8-8PFN-3
PLP-32-25ST-003 TVD-0375-3 TVD-0500-3 TVD-0750-3 TVD-1000-3
PLT-03-25RL-100M
201-42-01-3 201-46-01
CK8-12F-12F-3 CR4-2M-4F-3
CR8-2M-12WW-N DS12-2M-16F-3
NVT4-T4-2 PLMV-F24 PLMV-K04 PLMV-K06 PLMV-K08 PLMV-K12 PLMV-K16
PLMV-K24 PLMV-P08 PLMV-P12 PLMV-P16 PLMV-P24 PLMV-P32 PLPV-F04 PLPV-F16 PLPV-F24 PLPV-K04 PLPV-K06 PLPV-K08 PLPV-K12 PLPV-K16 PLPV-K24 PLPV-P08 PLPV-P16 PLPV-P24 PLPV-P32
PVT4-T4-T4-2 SG4-2C-4N SG4-2Q-6F SG4-3Q-4F SG4-3Q-4F-3 SG4-3Q-6F
WSP20-2C-20KK WSP20-2M-20KK CG2NDD050R2 LGMXFPRR4 LGMXFPSS3 SI2MSNFE05 SI2N0025R SI2N0050R
SI2N0100B
SI2N0100BRR8 SI2N0200B SI2R007RO SI2R15E05 SI5BGLTE07 WG2F02RR2 WG2F02RR4 WG2F15HJJ6 WG2FT1RF2 WG2FT1RR2 WG2FT1SS2 WG2SS8RR2 WG3NS1RR2 WG3NS2RR2 WG3NS2RR4 WG3NS3JJ2 WG3NS3RF2 WG3NS6RR2 WG3NS8RR2 WG3SS1WW2 WG3SS2WW2 WGFA21KP0 WGFG01DS0 WGFG01DSH WGFG01KPO WGFG01KP3 WGFG01RH2 WGFG02PR1 WGFG21KPO WGFG21KP3 WGFG32PRU WGFG50PR1
WGFGMBRR2 WGFGMBRR4 WGFGT1PR1 WGFGT1PS1 WGGB12S02 WGL045HS3R2 WGMXLBRR4 WGMXLPRR6 WGMXMBRR2 WGMXMBRR4 WGMXMBSS3 WGMXMPRR4 WGMXMPRR6 WGMXMSRR2 WGMXMSRR4 WGPM0GGG2 WGPMOGGT2 WGPMOGGT4 WGSLNFC1L WGSLSFC1M YY5001HR1 YY5032PR1 YY5032PS1 YY50600VT
GPUS200FIX04R00CA GPUS2500FHX04R00CA GPUS2500FHX08R0CA GPUS2500FIX04R00CA GPUS2500FIX08R00CA GPUS2500NCX04R00CA GPUS2500NCX08R00CA GPUS2500NCX08R02CA GPUS300FWX04R02CA
GPUS300FYX04R02CA GPUS300NCX04R02CA GPUS200FIX04R0CA GPUS2500FHX04R0CA GPUS2500FHX08ROOCA GPUS2500FIX04R0CA GPUS2500FIX08RCA GPUS2500NCX04R00CA GPUS250ONCX08ROOCA GPUS2500NCX08R02CA GPUS300FWX04R02CA GPUS300FYX04R02CA GPUS300NCX04R02CA AFUGOLPM1 AHUXMLEX1 AMVT33201 APD12LEM1 APD25LEM1 APD50SPM1
BA10012PWENH BA10022PWENH CHUX3LOP1M CHUY3LOP1M CN2501E06 DFFG01N8S1P FGPA010T1 FGPH010T1 PFFZ01P4P PGFPV010V1
PGPDN002AH3NF-N PGPSG010E1 SKPS010H2F SV02010E1
SV0261PE1 SV02R10E1 SV0561PV1 SV05R10E1 SV1061PE1 SV10R10E1 SV1H61PE1A SV1HR10E1A SV20R10E1 SV2HR10E1 SV2HR10T1 SV30010E1 SV3061PE1 SV30R10E1 SV30R10T1 SV3H61PE1 SV3HR10T1 SV4HR10T1 SV50R10E1 SVAAR10E1 SVAG010E1 SVAG020T1 SVAG61PE1 SVAGR10E1 SVAH010E1 SVAH61PE1 SVAHF10E1 SVAVR10E1 SVEG010E1 SVEGOSOE1 SVEG61PE1 SVESO20T1 SVSAR10E1C SVSGR10E1C
SVSHR10E1C SVSV61PE1C SVSVR10E1C UPEH030E1 CPUVO1PLT CTCAT200Q0D CTCGT100BKH CTCVT100Q0H CTCVT100QKH CTFG01TPE CTFGOSTPE CW0A020E1 CWAGOSOS1 CWAG40EL1 CWAV3LOS1 CWUG3LOS1 NXCGT10000P NXPZ150M31FP PGTV01EQ1 SVTA01TQ1 SVTA01TQ1K SVTA02TQ1 SVTAOMTQ1 SVTB01TQ1K SVTC01TQ1SVTG01TQ1KPW SVTG02TQ1KPW SVTH01TQ1
SVTH01TQ1KPW SVTV01TQ1 SVTV01TQ1K SVTV01TQ1KPW SVTV02TQ1KPW
SVTZ01TQ1KPW WGFGT1PR1 WGFGMBRR4 YY5032PR1 WGMXLPRR6 YY56HF2F
等常规型号均有现货，全新原装正品。
产业技术合作
—
我们与半导体产业及其他高科技产业的一流业者合作，以确保客户能够将微污染控制、关键材料处理与先进制程材料的最新技术充分应用到制程当中。
Entegris 不只加入国际半导体技术发展蓝图 (ITRS) 及 SEMI 之类的重要业界组织并与之进行策略合作，更积极参与各大产业技术联盟。
公司概况
• 总部位于麻萨诸塞州比尔里卡，并在美国、加拿大、中国、法国、德国、以色列、 日本、马来西亚、新加坡、南韩和台湾等全球各地设有制造据点、客户服务及/或研究机构
• 2024年销货淨额32亿美元
• 有效专利数达 4,500 个
• 全球员工数达 8,200 名
• 在 NASDAQ 上市 (代号为：ENTG)
重要里程碑与併购记录
Entegris 与 Entegris Rings Design 皆为 Entegris, Inc. 的商标。
2025 Entegris, Inc. | 版权所有。 | 9000-5498ENT-0525
1966 年 创立 Fluoroware, Inc.
2000 年 正式于 NASDAQ 上市，代号是 ENTG
2005 年 与 Mykrolis Corporation 合併，该公司为一流的液体过滤及
气体纯化技术供应商
2014 年 併购 ATMI, Inc.，该公司为一流的先进材料供应商
2016 年 欢庆公司成立 50 週年
2017 年 与 Spectrum Materials 及 Hubei Jingxing 公司技术合作
开始在中国制造特殊化学品
2018 年 併购 PSS 公司
取得粒子大小测定仪器以利液体应用
併购 SAES Pure Gas 公司
取得大量气体纯化系统
併购 Flex Concepts 公司
取得生物处理技术所需的快速定制配置
2019 年 併购 Digital Specialty Chemicals 公司
取得有机金属与其他精细化学品
併购 MPD Chemicals 公司
取得有机硅烷及其他先进化学品
併购 Hangzhou Anow Microfiltration 公司
在亚洲奠定过滤制造基础
2020 年 併购 Sinmat 公司
取得用于碳化硅 (SiC)、氮化镓 (GaN) 及碳化物的 CMP 研磨液
併购 GMTI 与 CRP 公司
取得 CMP 化学品的先进制程监控技术
2021 年 併购BASF精密微污染化学品事业
取得用于SiC之CMP研磨液以及用于HDD之高纯度清洁液
2022 年 2022年 - 併购CMC Materials公司
取得业界领先的CMP研磨液和研磨垫
远为国际大量现货库存美国英特格Entegris过滤器，滤芯，滤壳，阀门，焊枪，圆晶盒.
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS XX67000WH 过滤器
ENTEGRIS WGGB01KAN 过滤器
ENTEGRIS WGFG01KL0 过滤器
Entegris WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS YY260103P 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 滤芯
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
Entegris WGFG02PR1 过滤器
Entegris WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3气动阀
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
Entegris WGPM0GGT4 过滤器
Entegris WG2SS8RR2 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 过滤器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3阀
ENTEGRIS YY260103P 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 滤芯
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
ENTEGRIS XX67000WH 过滤器
ENTEGRIS WGGB01KAN 过滤器
ENTEGRIS WGFG01KL0 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3
Entegris WG2SS8RR2 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS YY260103N 过滤器
Entegris CR4-2C-6F-3 气动阀
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十个）滤芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW 滤芯
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331气动阀
ENTEGRIS WG3NS2RR4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4过滤器
Entegris CWFV0S1S3 滤芯
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 气动阀
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS CN2501E6 滤芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGPM0GGG2 过滤器
entegris WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WG2SS8RR2 过滤器
ENTEGRIS CN2501E6 滤芯
Entegris SVTH01TQ1 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS CN2501E06 滤芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFG50PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFG01DSH 过滤器
ENTEGRIS PLMV-K12 阀
ENTEGRIS PLMV-K04 阀
ENTEGRIS PLMV-K16 阀
ENTEGRIS PLPV-K04 阀
ENTEGRIS PLPV-K08 阀
ENTEGRIS PLPV-K12 阀
ENTEGRIS PLPV-K16 阀
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 气动阀
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
我们的目的实现改变世界的技术
作为一家与领先制造商合作以实现技术持续进步的全球性公司，我们拥有全球基础设施，包括战略布局的制造基地、研发设施和客户支持中心。我们进行基础设施投资，使我们更接近全球所有地区的客户。我们技术精湛的团队成员、设施和资源就在您需要的地方，帮助您解决最先进的技术挑战。
产品和解决方案包括：
净化气体、液体和晶圆厂周围环境的过滤产品
分配、控制、分析或传输过程流体的液体系统和组件
安全储存和输送有毒气体的气体输送系统
用于先进节点沉积和清洁的特种化学品
保护半导体晶圆免受污染和破损的晶圆运输商和托运商
特种涂层可提供高纯度的表面，以实现耐磨、防腐蚀和光滑度
适用于高性能应用的优质石墨和碳化硅
用于保护和运输磁盘驱动器组件的托运器和托盘
我们的核心竞争力
创新科学
第四次工业革命已经到来。人工智能、增强现实、物联网——这些不仅仅是趋势，而且是改变全球人们生活方式的驱动力。随着这些新的驱动力和不断加快的创新速度，人
们期望以更快的速度获得更高质量、更高性能的技术。凭借我们屡获殊荣的解决方案和技术专业知识的力量，我们为客户提供创新的、基于科学的解决方案，以应对他们最棘手的技术挑战。在 Entegris，我们是创新科学。
材料科学与分析分离科学膜科学与工程聚合物表征和开发界面科学污染源分析
先进材料材料合成和定制配方精密气体混合物特种涂料石墨、SiC 和工程碳表面准备和清洁液体和气体储存和运输
微污染控制领先的液体过滤和净化气体净化达到万亿分之一 (ppt) 水平适用于先进晶圆厂的空气分子污染 (AMC) 解决方案晶圆和光罩处理流体管理、传感和控制
卓越制造超洁净组件和材料制造快速原型设计和定制通过集成 SPC 进行领先的质量控制广泛的全球制造足迹
公司概况
Entegris 概览凭借我们屡获殊荣的解决方案、强大的员工文化和技术专长，我们为客户提供创新的、基于科学的解决方案，应对他们最棘手的技术挑战。
产品目录
通过提高纯度、安全性和性能来增强您的工艺作为为尖端制造工艺提供先进材料和材料处理解决方案的全球领导者，我们拥有实现工艺目标所需的广泛产品、技术和专业知识。
特色白皮书
探索可能性：大规模设备材料加工的整体方法
立即下载
设备托盘用于保护和运输裸芯片、CSP、光电电子和其他微电子器件的综合 IC 封装交付系统。
化学作为先进特种材料和输送系统的提供商，我们拥有专业知识来配制和提供您所需的化学品，以实现您的工艺并实现您的性能目标。
流体管理系统我们提供完整的系统解决方案，用于构建从散装化学品配送到使用点的完整、无泄漏、可靠的流体处理网络。
气体过滤与净化从空气或工艺气流中去除不需要的气体分子对于减少工艺污染至关重要。我们的过滤器和扩散器套件旨在保护房间和过程免受污染物的影响。
硬盘组件处理可靠的硬盘组件处理解决方案，可安全高效地运输关键材料。
液体过滤与净化我们能力的核心是先进的科学知识和制造技巧，可提供当今最好的液体过滤和净化解决方案。
掩模和掩模版处理正确处理重要的工艺技术对于工艺性能至关重要。我们的吊舱、包装和系统提供顶级保护，防止损坏和污染。
其他基材处理我们的晶圆盒和晶圆盒旨在为您宝贵的基材提供终极保护，使其在日常运输活动中免受损坏和污染。
特种材料适用于当今要求严苛的高科技应用的优质石墨、碳化硅和涂层解决方案。
特种气体我们是为各种制造工艺提供安全储存和输送剧毒气体的领导者。
晶圆处理创新的晶圆运输和加工解决方案为有价值的晶圆提供出色的保护。
CMC Materials | July 2022
Leading supplier of advanced materials to semiconductor manufacturers.
Precision Microchemicals | November 2021
High purity materials, including cleaning chemistries and CMP slurries
used in the machining and surface conditioning of electronic materials.
IsoSciences
IsoSciences, an Entegris company, is a leading manufacturer
and supplier of stable isotope labeled compounds used for
internal standards, R&D, Pharmaceuticals and more.
GMTI | July 2020
Precision concentration monitoring to enable high yields
in the CMP and formulated cleaning processes.
Sinmat | January 2020
Enabling new solutions for customers by combining Sinmat’s
slurry technology with Entegris’ broad capabilities for CMP.
Anow | September 2019
Anow, a filtration company for the pharmaceutical,
medical, and other industries, is now part of Entegris.
MPD Chemicals
Expanding Entegris’ capabilities in the development and
production of new organosilane and organometallic materials.
Digital Specialty Chemicals | March 2019
The acquisition of DSC broadens and deepens
Entegris’ capabilities for new advanced materials.
SAES Pure Gas | June 2018
Completes Entegris’ end-to-end portfolio of
gas purification solutions, from bulk to point of use.
Flex Concepts | June 2018
Single-use bags and fluid transfer solutions to expand
our ability to help solve customers’ most complex
biomanufacturing challenges.
Particle Sizing Systems (PSS) | January 2018
Improving yields through particle size analysis for
microelectronics, life sciences, and chemical industries.
气体过滤与净化
在空气、散装气体或特种气体的过滤和净化方面，Entegris 拥有满足您需求的专业知识、技术和解决方案无论是使用点还是散装气体输送、在腔室中还是在晶圆上、在洁净室中还是在工具上，Entegris 长期以来一直致力于提供高性能气体和空气净化及过滤产品来满足您的需求。
特色象形图
隐藏在众目睽睽之下：提高气体纯度和减少晶圆缺陷的预防性维护策略
立即下载
AMC 过滤器洁净室、扫描仪和工艺工具化学空气过滤器
气体过滤器利用镍、不锈钢和 PTFE 膜技术控制气体工艺中的污染
气体扩散器快速排放到大气中，无需向腔室中添加颗粒
气体净化器有多种材料可将气体净化至万亿分之一 (ppt) 的水平
PS14 常温气体净化器
气体净化器户外外壳
批量气体过滤器和外壳
易于安装，紧凑型镍和PTFE膜气体过滤器和不锈钢外壳，用于去除0.0015微米的颗粒，在高温和高流量应用中（高达50,000Nm3/hr）。兼容广泛的散装气体，包括CDA氮气、氩气、氧气、氢气和氦气。每个解决方案都是根据流量、供应压力和供应纯度设计的。
精选解决方案
缩小您的选择
适合尺寸
1/2"(2)
3/4"(2)
1 1/2英寸(1)
1"(1)
查看更多
适配类型
对焊管(2)
垫片密封(1)
VCR 男性(1)
长度
213 毫米 (8.4英寸)(1)
225.0 毫米（8.86英寸）(1)
267 毫米（10.5英寸）(1)
295.0 毫米（11.6英寸）(1)
查看更多
最大工作压力
18 巴 (250 磅/平方英寸) @ 23°C (73°F)(1)
31 巴 (450 磅力每平方英寸表压)(1)
50 巴 (725 磅力每平方英寸表压)(1)
最高温度
120°C (248°F)(1)
最大流量
1500(1)
1500标准升每分钟(1)
300(1)
3000(1)
查看更多
行业
数据存储(2)
平板显示器(2)
发光二极管(2)
半导体(2)
过程
批量气体供应(2)
沉积(2)
干法刻蚀(2)
离子注入(2)
查看更多
显示 2 个产品
排序方式：
相关性 名称，升序 名称，降序
添加到比较
Wafergard III 批量在线金属气体过滤器
高流量、高纯度气体过滤解决方案
适合尺寸
1/2"
3/4"
1英寸
1 1/2英寸
适配类型
VCR 男性
对焊管
长度
213 毫米 (8.4英寸)
305 毫米 (12.0英寸)
267 毫米（10.5英寸）
366 毫米（14.41英寸）
最大工作压力
50 巴 (725 磅力每平方英寸表压)
31 bar (450 磅力每平方英寸表压)
添加到比较
Wafergard II F-1500 在线气体过滤器
这些过滤器与所有类别的半导体气体具有出色的兼容性，并提供高效的颗粒过滤。
适合尺寸
3/8"
1/2"
3/4"
适配类型
对焊管
垫片密封
长度
398 毫米（15.68英寸）
295.0 毫米（11.6英寸）
225.0 毫米 (8.86英寸)
最大工作压力
18 巴 (250 磅/平方英寸) @ 23°C (73°F)
相关产品类别
其他气体过滤器Wafergard GN气体过滤枪是一种易于使用、轻便的POU（使用点）解决方案，用于控制气体污染。滤芯是Entegris独家设计，用于各种半导体工艺。
在线PTFE气体过滤器我们的气体过滤器提供卓越的颗粒过滤，以最小化压力降并最大化过滤器寿命。 以及 Wafergard 和 Linegard 在线气体过滤器。
在线不锈钢气体过滤器Entegris的在线不锈钢气体过滤器专为高压和高温应用设计。它们易于安装，无需进行设计更改。
在线镍燃气过滤器Entegris的超纯镍过滤器是高压、高温应用中清洁度和效率最高的气体过滤产品。
表面贴装气体过滤器提供不锈钢或镍滤芯，Wafergard 气体过滤器提供终极过程保护、卓越的耐腐蚀性和与惰性、氢化物和反应性气体的出色兼容性。表面贴装设计节省气体面板的空间，减少零件库存和差异。我们的表面贴装气体过滤器产品组合包括C密封1.125英寸和W密封1.125英寸或1.5英寸格式。
在线合金-22气体过滤器Wafergard IV合金-22（通常以品牌名称HASTELLOY C-22合金）滤器是适用于腐蚀性和超纯环境的最清洁、最高效、全金属滤器。
通风气体过滤器我们的气体过滤器提供卓越的颗粒过滤，高效控制各种生命科学、微电子、食品和饮料及其他应用领域的污染。
Wafergard II F-1500 在线气体过滤器
幻灯片详情。
下载图片
为超纯气体系统提供卓越的颗粒过滤效果，同时与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性。
PTFE 膜提供高效过滤
低压降减少了低蒸汽压气体中冷凝的风险
与各类半导体工艺气体具有卓越的兼容性
洁净室包装采用真空袋和双层袋提供卓越的开箱清洁度
指定您的部分重置所有
配合尺寸和类型
请选择一个选项 3/8" 垫密封（兼容VCR 接头）阳口入口/出口 1/2" 对焊管 3/4" 对焊管 3/4英寸垫片密封（兼容VCR接头），阳口入口/出口
长度
请选择一个选项 225.0 毫米 (8.86英寸) 295.0 毫米（11.60英寸） 398.0 毫米 (15.68英寸)
部件编号:
对ENTEGRIS的产品感兴趣吗？要讨论您的具体需求，请联系您当地的Entegris代表。没有Entegris的代表？联系我们
页首
计算机辅助设计
应用程序
规格
参考资料
零件编号
计算机辅助设计CAD文件
此产品可能有CAD图纸。请使用部件选择器选择一个部件编号以查看是否可用。
前往零件选择器
应用程序Wafergard II F-1500 在线气体过滤器 应用
设施入口
舱壁
设施追逐
规格
绘图
上一张幻灯片下一张幻灯片
远为国际大量备货美国英特格Entegris过滤器，滤芯，滤壳，阀门，焊枪，圆晶盒.
ENTEGRIS过滤器在库库存型号
WGPMOGGT2
WGPM0GGT4
WGMXMBRR4
WGFGMBRR4
WG2FT1SS2
WGMXMSRR4
WGMXMSRR2
LGMXFPSS4
WG2FT1RR2
WGMXMSRR2
WG3NSMSL2
WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS XX67000WH 过滤器
ENTEGRIS WGGB01KAN 气体过滤器
ENTEGRIS WGFG01KL0 过滤器
Entegris WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGFGMBRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS YY260103P 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 滤芯
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
Entegris WGFG02PR1 过滤器
Entegris WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 气动阀
GENTEC SS-RV32RA-TF8 泄压阀
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
Entegris WGPM0GGT4 过滤器
Entegris WG2SS8RR2 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 过滤器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 阀
ENTEGRIS YY260103P 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 滤芯
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
gentec-Eo MAESTRO 主机
gentec-Eo UP19K-15S-H5-D0 探头
ENTEGRIS XX67000WH 过滤器
ENTEGRIS WGGB01KAN 过滤器
ENTEGRIS WGFG01KL0 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 侦测器
Entegris WG2SS8RR2 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS YY260103N 过滤器
Entegris CR4-2C-6F-3 气动阀
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十个） 滤芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW 滤芯
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 气动阀
ENTEGRIS WG3NS2RR4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 过滤器
Entegris CWFV0S1S3 滤芯
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 气动阀
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS CN2501E6 滤芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGPM0GGG2 过滤器
entegris WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WG2SS8RR2 过滤器
ENTEGRIS CN2501E6 滤芯
Entegris SVTH01TQ1 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS CN2501E06 滤芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFG50PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFG01DSH 过滤器
ENTEGRIS PLMV-K12 阀
ENTEGRIS PLMV-K04 阀
ENTEGRIS PLMV-K16 阀
ENTEGRIS PLPV-K04 阀
ENTEGRIS PLPV-K08 阀
ENTEGRIS PLPV-K12 阀
ENTEGRIS PLPV-K16 阀
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 气动阀
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
Entegris YY5032PS1 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR2
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
entegris WGFGT1PR1 过滤器
Entegris YY5032PS1
Entegris WGFG21KP0
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFG01DS0 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGFG21KP0
Entegris WG2SS8RR2
过滤器全新原装正品未拆封，大量现货。
性能数据
产品规格
材料滤芯疏水性PTFE膜由模压PFA结构支撑住房电抛光316L不锈钢外壳下游清洁度粒子<0.03 微米/升（<1 微米/立方英尺3）>0.01 µm挥发物<10 ppb 水分 @ ≥5% 额定流量移除评分≥0.0015 微米表面处理内部≤10 微米 Ra氦气泄漏等级合格2×10-10 标准大气压 立方厘米/秒测试通过1×10-9 标准大气压 立方厘米/秒运行条件最大入口压力18 巴 (250 磅力每平方英寸) 在 23°C (73°F)最大正压差7 巴 (120 psid) 在 23°C (73°F)最大反向差压2.5 bar (36 psid) 在 23°C (73°F)最高工作温度120°C (248°F)颗粒保留99.9999999%（9个低风险病毒）去除所有颗粒 @ 1500 slpm（以最穿透的颗粒尺寸为参考）流量等级查看性能数据
参考资料产品文档
发表于2022年5月31日数据表Wafergard II F-1500 在线气体过滤器
下载 PDF287.7 千字节
发表于2022年5月31日数据表Wafergard II F-1500 在线气体过滤器 - A4
下载 PDF287.8 千字节
发表于2020年11月2日手册和指南Wafergard 气体过滤器兼容性指南
下载 PDF102.3 千字节
零件编号
Wafergard II F-1500 在线气体过滤器 部件编号
零件编号配合尺寸和类型长度WG2F15HJJ41/2" 对焊管295.0 毫米（11.60英寸）WG2F15HJJ63/4" 对焊管295.0 毫米（11.60英寸）WG2F15HRR23/4" 垫片密封（兼容VCR 接头），阳口入口/出口398.0 毫米（15.68英寸）WG2F15HRR33/8" 垫密封（兼容VCR 接头）阳口入口/出口225.0 毫米（8.86英寸）
Wafergard III 批量在线金属气体过滤器
幻灯片详情。
下载图片
全金属高流量过滤器满足了在交付点提供无颗粒过程气体的担忧和需求。
适用于所有工艺气体的镍过滤膜
提供多种接头类型以满足客户安装需求
采用0.0015微米过滤技术，满足超净散装气体输送的最严格需求
指定您的部分重置所有
配合尺寸和类型
10 CFM, 1/2" VCR male. V=specially treated version 10 CFM, 1/2" VCR male 25 CFM, 1/2" VCR male 25 CFM, 1/2" VCR male. V=specially treated version 50 CFM, 3/4" VCR male 50 CFM, 1/2" VCR male 100 CFM, 3/4" VCR male 100 CFM, 1" VCR male 100 CFM, 1" Butt weld tube 200 CFM, 1 1/2" Butt weld tube 200 立方英尺每分钟，2英寸对焊管 200 立方英尺每分钟, 1英寸 VCR 阳口 200 立方英尺每分钟, 3/4" ANSI 150 RF 法兰 200 立方英尺每分钟, 1 1/2" ANSI 150 RF 法兰 200 立方英尺每分钟, 2 英寸 ANSI 150 RF 法兰 200 立方英尺每分钟, 40A JIS 10K RF 法兰 400 立方英尺每分钟，2英寸对焊管 400 立方英尺每分钟, 3英寸 ANSI 150 突面法兰 400 立方英尺每分钟, 3英寸对焊管 400 立方英尺每分钟, 80A JIS 10K RF 法兰
长度
请选择一个选项 213 毫米 (8.40英寸) 225 毫米（8.9 英寸） 267 毫米（10.50英寸） 305 毫米 (12.00英寸) 354 毫米 (13.9英寸) 356 毫米 (14.0英寸) 358 毫米 (14.1英寸) 384 毫米 (15.1英寸)
部件编号:
对ENTEGRIS的产品感兴趣吗？要讨论您的具体需求，请联系您当地的Entegris代表。没有Entegris的代表？联系我们
页首
计算机辅助设计
应用程序
规格
参考资料
零件编号
计算机辅助设计CAD文件
此产品可能有CAD图纸。请使用零件选择器选择零件编号以查看是否可用。
前往零件选择器
应用程序Wafergard III 批量在线金属气相过滤器 应用
批量气体农场和批量特殊气体系统 (BSGS)
超高纯度气体管道
高温应用
新建晶圆厂和/或升级现有过滤器
规格
绘图
零件编号拟合配置D1D2L1L2SI2N0010RVCR 男性–38.1 毫米（1.5英寸）213 毫米（8.4英寸）35.9 毫米 (1.4英寸)SI2N0010RVVCR 男性–38.1 毫米（1.5英寸）213 毫米（8.4英寸）35.9 毫米 (1.4英寸)SI2N0025RVCR 男性–38.1 毫米（1.5英寸）305 毫米 (12.0英寸)35.9 毫米 (1.4英寸)SI2N0025RVVCR 男性–38.1 毫米（1.5英寸）305 毫米 (12.0英寸)35.9 毫米 (1.4英寸)SI2N0050RVCR 男性–76.2 毫米（3.0英寸）213 毫米（8.4英寸）35.2 毫米（1.4英寸）SI2N0050R4VCR 男性–76.2 毫米（3.0英寸）225 毫米 (8.9英寸)30.2 毫米 (1.2英寸)SI2N0100B对接焊25.4 毫米（1.0 英寸）101.6 毫米（4.0英寸）267 毫米（10.5英寸）57.2 毫米 (2.3英寸)SI2N0100BRR6VCR 男性–101.6 毫米（4.0英寸）384 毫米（15.1英寸）115.9 毫米 (4.6英寸)SI2N0100BRR8VCR 男性–101.6 毫米（4.0英寸）384 毫米（15.1英寸）115.9 毫米 (4.6英寸)SI2N0200B对接焊38.1 毫米（1.5英寸）101.6 毫米（4.0英寸）356 毫米（14.0英寸）57.2 毫米 (2.3英寸)SI2N0200B16对接焊50.8 毫米 (2.0英寸)101.6 毫米（4.0英寸）356 毫米（14.0英寸）52.1 毫米 (2.1英寸)SI2N0200RVCR 男性–101.6 毫米（4.0英寸）354 毫米 (13.9英寸)56.4 毫米 (2.2英寸)SI2N0400B对接焊50.8 毫米 (2.0英寸)152.4 毫米（6.0英寸）358 毫米 (14.1英寸)51.9 毫米（2.1英寸）SI2N0200A1007ANSI 150 环连接面法兰–101.6 毫米（4.0英寸）356 毫米（14.0英寸）44.5 毫米（1.8英寸）SI2N0200A1015ANSI 150 环连接面法兰–101.6 毫米（4.0英寸）356 毫米（14.0英寸）39.7 毫米 (1.6英寸)SI2N0200A1020ANSI 150 环连接面法兰–101.6 毫米（4.0英寸）356 毫米（14.0英寸）38.5 毫米 (1.5英寸)SI2N0200J1015JIS 10K RF 法兰–101.6 毫米（4.0英寸）356 毫米（14.0英寸）41.7 毫米（1.6英寸）SI2N0400A1030ANSI 150 环连接面法兰–152.4 毫米（6.0英寸）358 毫米 (14.1英寸)28.2 毫米 (1.1英寸)SI2N0400J1030JIS 10K RF 法兰–152.4毫米（6.0英寸）358毫米（14.1英寸）31.9毫米 (1.2英寸)SI2N0400B24对接焊76.2 毫米（3.0英寸）152.4 毫米（6.0英寸）358 毫米 (14.1英寸)52.1 毫米（2.05英寸）
性能数据
产品规格
材料滤芯烧结镍膜过滤器住房电抛光VAR 316L不锈钢移除评分0.0015 微米表面处理内部<10 µin Ra下游清洁度<0.03颗粒/升（<1颗粒/英尺3）>0.01微米氦气泄漏等级1 x 10-9 大气压 立方厘米/秒最大运行条件最大工作压力：50 bar (725 psig) SI2N0010R, SI2N0025R31 bar (450 psig) SI2N0050R, SIN0100B, SI2N0200B, SI2N0200R17 巴 (250 磅力每平方英寸) SI2N0400B正反向最大压差：5.2 巴 (75 psid)惰性气体中的最高工作温度：200°C (392°F)颗粒保留在最大额定流量下，去除所有颗粒，去除率超过99.9999999%（参考最穿透颗粒尺寸）
参考资料产品文档
发表于2024年9月26日数据表Wafergard III 批量在线金属气体过滤器
下载 PDF314.5 千字节
发表于2024年9月26日数据表Wafergard III 批量在线金属气相过滤器 - A4
下载 PDF314.5 千字节
发表于2020年11月2日手册和指南Wafergard 气体过滤器兼容性指南
下载 PDF102.3 千字节
零件编号
Wafergard III 批量在线金属气相过滤器 部件编号
零件编号配合尺寸和类型长度SI2N0010R10 立方英尺每分钟, 1/2" VCR 男性接口213 毫米 (8.40英寸)SI2N0010RV10 CFM, 1/2" VCR 男性. V=特别处理版本213 毫米 (8.40英寸)SI2N0025R25 立方英尺每分钟, 1/2" VCR 男性接口305 毫米 (12.00英寸)SI2N0025RV25 立方英尺每分钟，1/2" VCR 男性接口。V=特别处理版本305 毫米 (12.00英寸)SI2N0050R50 立方英尺每分钟, 3/4" VCR 男性213 毫米 (8.40英寸)SI2N0050R450 立方英尺每分钟, 1/2" VCR 男性接口225 毫米 (8.9英寸)SI2N0100B100 CFM, 1" 对焊管267 毫米（10.50英寸）SI2N0100BRR6100 CFM, 3/4" VCR 男接口384 毫米（15.1英寸）SI2N0100BRR8100 立方英尺每分钟, 1英寸 VCR 男性接口384 毫米（15.1英寸）SI2N0200A1007200 立方英尺每分钟, 3/4" ANSI 150 RF 法兰356 毫米（14.0英寸）SI2N0200A1015200 立方英尺每分钟, 1 1/2" ANSI 150 RF 法兰356 毫米（14.0英寸）SI2N0200A1020200 立方英尺每分钟，2英寸 ANSI 150 RF 法兰356 毫米（14.0英寸）SI2N0200B200 立方英尺每分钟, 1 1/2" 对焊管356 毫米（14.0英寸）SI2N0200B16200 立方英尺每分钟，2英寸对焊管356 毫米（14.0英寸）SI2N0200J1015200 立方英尺每分钟, 40A JIS 10K RF 法兰356 毫米（14.0英寸）SI2N0200R200 立方英尺每分钟, 1英寸 VCR 阳口354 毫米 (13.9英寸)SI2N0400A1030400 立方英尺每分钟, 3英寸 ANSI 150 突面法兰358 毫米 (14.1英寸)SI2N0400B400 立方英尺每分钟, 2英寸对焊管358 毫米 (14.1英寸)SI2N0400B24400 立方英尺每分钟，3英寸对焊管358 毫米 (14.1英寸)SI2N0400J1030400 立方英尺每分钟, 80A JIS 10K RF 法兰358 毫米 (14.1英寸)